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由于洁净室树立费用很高且不同洁净等级的树立费用相差较大,因而,在洁净室设计过程中,设计师不只需要合理安置工艺设备以尽量削减洁净区的面积,而且也要针对不同的消费环节设置不同的洁净等级。目前,12英寸集成电路芯片制作工厂普遍选用"开放式洁净室加微环境"的方法,将芯片制作过程中对空气洁净度恳求十分严厉的硅片加工过程安置在1级-4级的微环境装置内,而开放式洁净室的洁净度等级只需5级-6级,这样就有效地降低了树立/运营出资以及能耗。洁净厂房的建筑要求和施工标准:

  1. 洁净工程结构材料

    (1)洁净室墙、顶板材料一般采用50mm厚的夹芯彩钢板、净化专用的氧化铝型材制造。门采用净化密闭门,窗采用铝合金玻璃固定窗。

    (2)地面采用环氧自流平或高级耐磨塑料洁净地板。

    3)净化通风管道选用镀锌薄钢板制作,并采用“PEF”阻燃型的保温板做保温。

    (4)高效送风口用不锈钢框架,美观清洁,冲孔网板用烤漆铝板。

  2. 2.技术参数换气次数:十万级10-15次/小时;万级15-25次/小时;千级50-52次/小时;百级操作台断面风速0.25-0.35m/s;压差:主车间对相邻洁净房间≧5Pa;洁净房间对非洁净区≧10Pa;温度:冬季>16度正负2度;夏季<26度正负2度;

  3. 洁净厂房相对湿度:45-65%(RH);噪音≦65dB(A);新风补充量:总送风量的20%-30%;照度:≧300Lux在我国,洁净厂房的能源耗费是相当大的。能源耗费首要用于消费设备用电和用热、净化空调体系的耗电/耗热和冷负荷、冷冻机组的耗电、排气装置的耗电和耗热、超纯水和气体的制取和保送以及共用设备和照明的用电等。为抵达洁净室恳求的空气洁净度等级,洁净室的循环风量很大。一般空调房间的每小时换气次数只需求几次,而洁净室每小时换气次数抵达10次~600次。


一个好的净化工程,不仅有好的规划布局、高的操作标准,更要有可靠的工程团队、高效的施工进度。选择专业的厂房装修公司,经费就花对了一大半。


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